En anden type spordetektorer er baseret på halvledere. Når en ladet partikel rammer en halvlederdannes der elektron-hul-par i halvlederen. Ved at lægge et elektrisk felt over halvlederen separeres elektronerne fra hullerne. De opsamles ved elektroderne hvor de giver et måleligt signal.

Den største fordel ved halvlederdetektorer er deres høje præcision, de kan registrere partiklers position med en nøjagtighed af størrelsesordenen10 µm. Til ulemperne hører at de er følsomme for stråling, samt at de er dyre at fremstille.

Halvlederdetektorer sidder nærmest ved partikelkollisionen, indenfor trådkamrene, idet man der har størst nytte af deres høje præcision for stedbestemmelse af partikelspor. Et anvendelsesområde er at studere kortlivede partikler.