Un autre type de trajectographe est basé sur les semiconducteurs. Lorsqu'une particule chargée traverse un semiconducteur, des paires électron-trou sont créées dans celui-ci. En y appliquant un champ électrique, les électrons et les trous se séparent. Ceux-ci sont collectés par des électrodes enregistrant un signal mesurable.

Le plus grand avantage de ces détecteurs est leur précision; ils peuvent déterminer la position d'une particule avec une précision de 10 µm. Cependant, ils sont malheureusement sensibles aux radiations et onéreux à la production.

Les semiconducteurs sont placés au plus près de la collision, à l'intérieur des chambres à fils, afin de déterminer la trajectoire des particules avec grande précision. Un de leur usage est l'étude des particules de court temps de vie.