Un tipo diferente de detectores de trazas baséase nos semicondutores. Cando unha partícula cargada chega a un semiconductor créase neste un par electrón-oco. Ao se aplicar un campo eléctrico no semiconductor os electróns sepáranse dos ocos, e son recollidos nos electrodos, o que produce un sinal que se pode medir.

A maior vantaxe dos detectores semiconductores é a súa grande precisión pois poden rexistrar a posición de partículas cunha exactitude da orde de 10 µm. Entre os seus inconvenientes están a sensibilidade á radiación e unha costosa producción.

Os detectores semiconductores son os que están máis cerca da colisión dentro das cámaras de fíos, dado que é alí onde mellor se aproveita a súa grande precisión na localización das trazas das partículas. Unha das súas aplicacións é o estudio de partículas de tempo de vida curto.