Ένας άλλος τύπος ανιχνευτή τροχιών βασίζεται στους ημιαγωγούς. Όταν ένα φορτισμένο σωματίδιο πέφτει σε έναν ημιαγωγό ένα ζεύγος ηλεκτρονίου - οπής δημιουργείται μέσα σ' αυτόν. Εφαρμόζοντας ένα ηλεκτρικό πεδίο στον ημιαγωγό τα ηλεκτρόνια και οι οπές διαχωρίζονται μεταξύ τους. Αυτά συλλέγονται από τα ηλεκτρόδια, τα οποία δίνουν ένα μετρήσιμο σήμα.

Το μεγαλύτερο πλεονέκτημα με τους ανιχνευτές ημιαγωγών είναι η υψηλή τους ακρίβεια. Μπορούν να καταγράψουν τη θέση των σωματιδίων με ακρίβεια της τάξης των 10 μm. Μεταξύ των μειονεκτημάτων είναι το ότι είναι ευαίσθητοι στην ακτινοβολία και έχουν μεγάλο κόστος κατασκευής.

Οι ανιχνευτές ημιαγωγών εγκαθίστανται πλησιέστερα στο σημείο σύγκρουσης των σωματιδίων, στο εσωτερικό των συρματοφόρων θαλάμων, καθώς εκεί είναι που μπορεί κάποιος να εκμεταλευτεί το μεγαλύτερο πλεονέκτημά τους, την υψηλή ακρίβεια στον εντοπισμό των θέσεων των ιχνών των σωματιδίων.