Otro tipo de detectores de trazas está basado en semiconductores. Cuando una partícula cargada  golpea un semiconductor se crea un par electrón-hueco en el semiconductor. Aplicando un campo eléctrico en el semiconductor se separan el electrón y el el hueco. Estos se recogen en los electrodos, dando una señal medible.

La mayor ventaja de los detectores semiconductores es su gran precisión; pueden registrar la posición de las partículas con una seguridad de  10 µm. Entre las desventajas está que son sensibles a la radiación y su producción es cara.

Los detectores semiconductors son los que están más próximos al punto de colisión, en el interior de las cámaras de hilos, ya que debido a su gran precisión  para localizar las posiciones de las partículas, pueden utilizarse para estudiar partículas de corta vida.